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场发射扫描电子显微镜 FE-1050系列

仪器名称:场发射扫描电子显微镜 FE-1050系列

仪器型号:FE-1050系列

制  造  商:纳克微束

原  产  地:中国北京

联系电话:010-67802360

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技术规格

型号FE-1050系列
1.电子光学系统
电子枪Schottky 场发射型
物镜类型非浸没电磁复合透镜
加速电压0.02-30KV
束斑电流10pA 至 30nA(100nA 选配)
放大倍数10x - 1,000, 000x
分辨率SE1.5nm(1KV)、0.9nm(15KV)
BSE(选配)2.5nm(1KV)、1.5nm(15KV)
STEM0.8nm(30KV)
2.真空系统
离子泵(IGP)25 L/s+2X20L/s
涡轮分子泵(TMP)250 L/s (N2)
前级真空泵15m³/h 机械泵、无油涡旋机械泵(选配)
电子枪真空<1.0x10-7 Pa
主样品室极限真空<1.0x10-4 Pa
样品室接口数27 个
预抽室50mm 样品托盘自动送样
4/6 英寸晶圆自动送样(选配)
预抽室光学导航
3.样品运动平台
样品台行程X140mm
Y140mm
Z60mm
R连续 360°
T-10°~80°
重复定位精度X/Y/Z≤1um(选配)
样品最大承重5kg
4.图像处理系统
最小驻留时间20ns
采集方式4 通道同步采集
最大图像分辨率24kx24k 像素
5.数据处理系统
CPUIntel Xeon E5 及以上处理器
内存32G
显卡显存≥24G,位宽≥384bit
显示器34 英寸超宽屏显示器
控制台人体工程学可升降操控台
6.探测器系统
检测器In-Column SE 探测器
ET- SE 探测器
插入式 BSE 探测器(选配)
STEM 探测器(选配)
红外 CCD 主腔室监控-3 路
附件(选配)斜插式能谱仪(EDS)
平插式能谱仪(Flat-EDS)
波谱仪(WDS)
电子背散射衍射仪(EBSD)
阴极荧光探测器(CL)
聚焦离子束(FIB)
原位拉伸加热台/制冷台
冷冻转移样品仓等第三方附件设备
  • 产品简介

    FE-1050系列场发射扫描电子显微镜,国内首款领势旗舰机型。

  • ● 在新一代电子光学镜筒的加持下,展现低电压、高分辨的卓越性能。

  • ● 27个端口拓展、大舱室,轻松应对各类成像、分析需求。

  • ● 极简化操作、自动化交互、智能化特征识别统计,成倍提高工作效率。

  • ● 终身售后保障,7*24售后响应。

  • 以“质”为先,以“优”为本,助力微观世界的探索与发现。

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